IC-CAP Target Modeling Package

Agilent 85199KL ターゲット・モデリング・パッケージ（CMOS プロセス対応）

アジレントは業界初の、CMOS対応ターゲット・モデリングに対応した抽出パッケージをリリースしました。

ターゲット・モデリング・パッケージにより、プロセス・コントロール・モニタのデータや、プロセス開発時の目標値を利用したモデリングができます。これにより、プロセスの安定を待つことなく、予想される最適化後のプロセスでのモデルパラメータを作成し、早期に最終モデルに近いデバイスモデルを設計者に提供、設計効率を向上させることが可能となります。この機能は、アジレントIC-CAP上で動作し、IC-CAP2008のバージョンよりサポートされます

ターゲット・モデリング・パッケージ

この新パッケージは、アジレントIC-CAPソフトウェア上で動作する機能であり、PCM(プロセス・コントロール・モニタ)データを使ってモデルパラメータを抽出する、CMOS対応のソリューションです。

従来の CMOS モデリングでは多くの I-V 及び C-V データを、ウエハ上の様々な場所のデバイスで測定し、モデルパラメータの抽出を行います。しかも、モデリング用の測定はプロセスの安定後に実施する必要があり、多大な時間を要する作業となっていました。ターゲット・モデリングでは、正確なCMOSモデルを、設計サイクルのより早期段階で作成する為に、プロセス開発において早期段階より利用可能な、高速シングル・バイアスポイントの計測によるPCM(プロセス・コントロール・モニタ)データを用いて、モデリングを行います。

ターゲット・モデリング・パッケージは以下の機能を装備しています:

• ターゲット・モデリング専用のユーザ・インタフェース：簡単に設定可能
• PCMデータ及び関連するバイアス情報をExcelシートよりインポート
• PCMデータの統計情報をインポート及び表示 (平均値＆標準偏差)
• BSIM3, BSIM4, PSP , BSIMSOI モデルのサポート
• アジレント Advanced Design System (ADS), Cadence Spectre , Synopsys HSPICEなど各種シミュレータのサポート
• ユーザ定義のスケール、IVダイアグラムの表示、調整、最適化
• カスタム化可能な自動HTMLレポート生成
• オープン・アーキテクチャによるPCMデータ・プロットと結合させ、IV-トレースの活用やインポートをサポート

パッケージ概要

抽出パッケージにはPCMデータをインポートしたり、スケーリングやIVダイアグラムを作成する専用のユーザ・インターフェースが準備されています。デバイスの情報と PCM データはExcelシートから直接インポートされます。便利なウィザードによりデバイスのサブセットやPCMデータのスケール・ダイアグラム（Ion vs L, Ioff vs Wなど）を設定することができます。

図 1: ターゲット・モデリング・ツールのメイン・ウィンドウと PCM スケーリング・ダイアグラム(Ion vs. L)の例

専用のユーザ・インタフェースはIC-CAPの標準機能であるマルチ・プロット機能と組み合わせて用いることができます。IC-CAPのプロット・オプティマイザ・ツールによりモデル・パラメータの選択、スケーリングとIVプロットの調整、最適化が行えます。

図 2: ダイアグラム構成ページと複数のスケーリング・ダイアグラムとIV-カーブを含んだマルチ・プロット・ダイアグラムの例

オーダー情報

IC-CAP用のアプリケーション・ソフトウェアとして、ターゲット・モデリング・パッケージ (85199KL)をご用意致しました。IC-CAP 2008 のバージョンより使用可能です。価格など詳細につきましては、最寄のアジレント・EDA担当営業にお問い合わせ下さい。

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